প্যাকেজিং লাইনে, পরিষ্কার করার পর থাকা সামান্য আর্দ্রতাই উৎপাদন প্রক্রিয়ায় সমস্যা সৃষ্টি করতে যথেষ্ট। ২৪/৭ চালিত এই কারখানাগুলোতে তাপীয় পরিবর্তন ও ধূলিকণার কারণে উৎপাদন প্রক্রিয়া ব্যাহত হয়। তাই শুকানোর প্রক্রিয়াটি অবশ্যই নিয়মিত, পরিষ্কার ও দ্রুত হতে হবে। প্রতিটি শিফটে, প্রতিটি লটেই।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শুকানোর প্রক্রিয়াটিকে দুটি বিষয়ের উপর ভিত্তি করে ডিজাইন করি: ওয়েফারের সমানতা এবং ক্লিনরুমের মানদণ্ড। সিস্টেমটি সাবস্ট্রেটের উপর ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে ফটোরেজিস্টের গুণমান ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এটি ক্লাস 1–100 এর পরিবেশে কাজ করে, যেখানে কোনো ধূলিকণা থাকে না। কম্পোনেন্টগুলোর জীবনকাল 10,000 ঘন্টারও বেশি; আর হাজার হাজার তাপীয় চক্রের পরেও আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা আসে ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ, ট্রেসযোগ্য রেসিপি ও তাপীয়-ফিল্ড ম্যাপিংয়ের মাধ্যমে।
কেন এটি প্যাকেজিং কারখানায় কার্যকর?
থ্রুপুট ও ইয়েল্ড হলো এখানে একমাত্র গুরুত্বপূর্ণ সূচক। এই পদ্ধতিতে ওয়েফারগুলো দ্রুত শুকায়; ফলে তাপীয় ব্যয় কমে যায়। এর ফলে ছোট আকারের কম্পোনেন্ট তৈরি করা সম্ভব হয়। দ্রুত নিয়ন্ত্রণ ও ন্যূনতম স্ট্যান্ডবাই লসের কারণে শক্তি ব্যবহার কমে যায়। আর নির্ভরযোগ্যতার ফলে কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা ঘটে না। প্রতিটি লটেই ধারাবাহিকভাবে আর্দ্রতা দূর হয়, আঠালো সংযোগ থাকে এবং প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে।
কিছু অপরিহার্য বিষয়:
এই প্ল্যাটফর্মের জন্য বিশেষ ক্লিন পাওয়ার সরবরাহ ও নির্ভরযোগ্য ভেন্টিলেশন ব্যবস্থা প্রয়োজন। যথাযথ গ্রাউন্ডিং ও ভেন্টিলেশন না থাকলে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক নয়েজ ও ধূলিকণার কারণে সমস্যা দেখা দেয়। প্রাথমিক ইন্টিগ্রেশনের জন্য বিভিন্ন ক্যারিয়ারের জন্য তাপীয়-মাস ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন। একবার এটা ঠিক হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে। কিন্তু এই প্রস্তুতি প্রক্রিয়াটি অপরিহার্য।