في ورشة التصنيع، نادرًا ما تبدأ عيوب القطع عند إطلاق الليزر. بل تبدأ هذه العيوب في وقت أبكر، أي عندما يكون درجة حرارة الركيزة منخفضة جدًا، أو غير مستوية، أو خارج النطاق الحراري المسموح به للفوتوريزست. يظهر ذلك في شكل تشققات صغيرة على حواف الركيزة، بالإضافة إلى اختلافات في شكل القطع من مكان لآخر. لقد صممنا جهاز التسخين المساعد لتحكم دقيق في درجة الحرارة، بحيث يتم القطع بدقة في كل مرة.
الأمور المهمة من الناحية التقنية: يمكن الحصول على توحيد حراري دقيق للركيزة، بدرجة تتراوح بين ±0.1 درجة مئوية في المنطقة المُسخنة، كما أن قيمة درجة الحرارة المطلوبة تظل ثابتة من مرة إلى أخرى. جسم الجهاز مصمم ليتناسب مع بيئات الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100، كما أنه مصمم لعدم إنتاج أي جسيمات، مما يضمن عدم حدوث تلوث في كل مرة يتم فيها استخدام الجهاز. يمكن دمج هذا الجهاز مع منصات القطع بالليزر بواسطة واجهة ميكانيكية نظيفة واتصالات كهربائية موثوقة، ويعمل الجهاز على مدار 24 ساعة يوميًا بموثوقية عالية.
لماذا هذا مهم؟ عملية القطع بالليزر حساسة لدرجة الحرارة. إذا كانت درجة حرارة الركيزة منخفضة جدًا، فإن طاقة الليزر الممتصة قد تسبب صدمات حرارية في طبقات الركيزة، مما يؤدي إلى تشققات. أما إذا كانت درجة الحرارة مرتفعة جدًا، فقد يؤدي ذلك إلى ذوبان الفوتوريزست وتشوه حواف الركيزة، مما يؤثر على شكل القطع.
يساعد جهاز التسخين المساعد في استقرار درجة حرارة الركيزة في نقطة القطع، مما يحمي سلامة الفوتوريزست ويضمن استقرار شكل القطع. النتيجة هي تقليل عدد القطع التالفة، وتقليل الحاجة إلى إعادة العمل، بالإضافة إلى زيادة كفاءة الإنتاج.
بعض الملاحظات العملية: يعتمد تركيب الجهاز على اتجاه تدفق الغاز ومسار الهواء الخارج، فإذا تم تركيب الجهاز بشكل خاطئ، فسوف يحدث اختلاف في درجة الحرارة على حواف الركيزة. يصل الجهاز إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، لكن استقرار درجة الحرارة يعتمد على تصميم الجهاز وكتلته الحرارية، لذا يجب التأكد من أن الجهاز بأكمله يعمل بشكل صحيح، وليس فقط الجزء المسخن. وبالطبع، تم اختيار المواد المستخدمة في الجهاز لتناسب بيئات الغرف النظيفة، لكن خلال خطوات الإنتاج، يظل من الضروري اتباع إجراءات تشغيل صارمة لتجنب التلوث.